反渗透超纯水装置（膜分离）技术的应用使超纯水制备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复
合离子交换器、混合 近年来开始在国外推广应用的edi（电去离子）技术，则是超纯水制造技术的
一次革命，从此进入了一个无需再生化学品，而能生产出高达18mω·cm的超纯水，用于半导体、
集成电路等行业。国家经委也已将ro + edi 成套技术的应用列入国家重点推广范围，对使用的企
业给以政策上的优惠.
反渗透超纯水装置典型工艺流程为
1: 预处理－反渗透－纯化水箱－离子交换器－紫外灯-纯水泵－用水点
: 预处理－一级反渗透－二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
3: 预处理－反渗透－中间水箱－中间水泵－edi装置－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级ro装置→二级ro装置→中间水箱→edi装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除toc uv装置→抛光混床→超滤装置→用水点
水质符合美国astm标准，电子部超纯水水质标准（18mω*cm，15mω*cm，2mω*cm和
0.5mω*cm四级）
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